La Russie travaille sur sa propre machine de lithographie pour remplacer ASML

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La Russie pense pouvoir concevoir sa propre machine de lithographie, moins chère et plus simple que celle d’ASML. Cela devrait stimuler la production nationale de puces.

L’Institut russe de physique des microsystèmes (IFM RAN) présente un projet visant à développer sa propre machine de lithographie pour remplacer le leader du marché, ASML. Depuis l’invasion de l’Ukraine et les sanctions économiques qui ont suivi, les entreprises occidentales ont cessé de fournir des technologies de pointe à la Russie. La Russie est livrée à elle-même et cela ne se passe pas sans heurts.

11,3 nm

La Russie a élaboré un plan pour produire sa propre machine de lithographie, moins chère et plus simple que les machines d’ASML. L’approche russe se concentre sur l’utilisation d’une technologie alternative avec une longueur d’onde de 11,2 nanomètres, au lieu de la norme industrielle de 13,5 nanomètres utilisée par ASML.

Selon les chercheurs, cela permettrait d’améliorer la résolution de 20 % et de réduire le coût des composants de production tels que les miroirs et les lentilles. En outre, il est proposé de remplacer la source d’étain actuelle par une source de xénon. Ce changement réduirait considérablement l’usure des éléments optiques et prolongerait la durée de vie des composants critiques.

Le passage à 11,2 nanomètres implique en effet la mise en place d’un écosystème entièrement nouveau autour de la norme. Sa capacité de production serait également beaucoup plus faible, bien que la machine semble être principalement destinée à la production nationale. Il est question d’exportation, mais uniquement pour un marché restreint non desservi par les fabricants de puces traditionnels.

Ambitieux mais irréaliste

Le plan “dynamique” sera divisé en trois phases. La première phase se concentrera sur la recherche et le développement, y compris l’essai de prototypes. Au cours de la deuxième phase, une machine de lithographie expérimentale sera construite pour tester la production avec des plaquettes de 200 ou 300 mm. La troisième phase finale comprendra la production de machines entièrement opérationnelles à des fins commerciales.

Les délais ne sont pas discutés. Le contexte dans lequel le plan doit être mis en œuvre ne facilite pas les choses. Les budgets de R&D disponibles sont limités et les restrictions à l’importation rendent l’accès aux pièces difficile. De plus, un écosystème autour d’une norme entièrement nouvelle doit être mis en place. Il nous semble peu probable que la Russie soit en mesure d’éliminer son retard technologique de cette manière.

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